?可在真空環(huán)境內（1.3×10-4Pa）執行搬運工作的氣缸。
| 系列 | 使用環(huán)境壓力｛Pa（ABS）｝ | 缸筒內徑（mm） |
|---|---|---|
| CYV | 大氣～1.3×10-4 | 15，32 |
?可在真空環(huán)境內（1.310-4Pa）執行搬運工作的氣缸。系列使用環(huán)境壓力｛Pa（ABS）｝缸筒內徑（mm）CYV大氣～1.310-415，32
?可在真空環(huán)境內（1.3×10-4Pa）執行搬運工作的氣缸。
| 系列 | 使用環(huán)境壓力｛Pa（ABS）｝ | 缸筒內徑（mm） |
|---|---|---|
| CYV | 大氣～1.3×10-4 | 15，32 |
